螺杆真空泵是一种的容积式泵，广泛应用于半导体、光伏产业、化工、制药等领域。螺杆真空泵的主要结构和工作原理进行详细阐述，帮助大家深入了解这一关键设备。

真空泵的核心工作逻辑，是通过机械、物理方式使泵腔内部形成周期性容积变化，持续将密闭容器内的气体分子排出至大气侧，逐步降低容器内气体压强，终形成符合工艺要求的负压真空环境。不同泵型适配不同真空区间：油封式机械泵、螺杆干泵多用于粗中真空场景，依靠转子旋转改变腔体容积完成抽气;罗茨泵多用于中高真空场景，通过高速转子带动气体定向流动，配合前级泵实现更高精度的真空抽取。